与普通工业管道不同，高纯度、高洁净气体管道的施工可能会破坏气体质量。因此，要了解安装气体质量的重要意义，严格遵守设计和施工标准，认真细致地工作，高度重视每一个小阶段，构建符合要求的管道系统。
外观检查工作
(1)管道系统的管道、闸阀及所有配件，严格的设计要求，不得随意更换或更换。
(2)所有管道都要放在室内精心保管，不能露天堆放、日晒、雨淋。
(3)用塑料或橡胶密封盖密封管道端头，不得脱落、破裂。
(4)在使用管道、管件、阀门等之前，对下列外观进行详细检查：
1)无裂纹、缩松、折叠、重皮等缺点。
二是无锈蚀、蚀斑等现象。
管道平直、光滑、无局部凹陷、无划痕、挤压等缺点。
管内层的“粗糙度”是否符合设计要求，螺纹处是否密封，保护是否良好。
5)购买成品“内层超光滑洁净管”需要出厂证书、相关资质证书和资质证书。显微镜下检测应随机抽样，必须符合设计要求。
检查成品“内层超光滑洁净管”外包装及相应管端头管帽、堵塞一等密封措施是否正确。
法兰突面应平整、光滑，无毛边和轴向管沟，凹凸法兰应自然嵌入，凸面高度不得低于凹槽深度。
8)橡胶、塑料等非金属垫片应柔软、无老化、分层，表面不应有损坏或皱纹。金属垫片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等。应符合要求，表面不应有裂纹、毛边、凹槽、轴向划痕和锈迹。
配管的准备工作
(1)无论压力有多大，哪种介质，哪种用途，切割时都不要用氧气或乙炔焰切割。无论是机械还是手动切割，油脂或润滑剂都不应涂抹在不同的部分。
管道切口应严格垂直于管轴线，切口表面平整，无裂纹、毛边。
(3)安装前应清洗各种阀门。清洗前，应研磨试压合格，然后拆卸成零件，浸泡在三氯乙烯或四氯化碳溶剂中1~1.5。h。清理完安全阀后应重新试压。
(4)波纹管等不能拆解成零件的闸阀，组装时应清洗干净。清洁效果可以通过以下方法进行检查:将洁净溶剂注入闸阀入口，使溶剂流经闸阀各处。闸阀流出溶剂过滤后，用显微镜检查过滤器的表面状况是否符合设计要求。
(5)使用普通不锈钢管时，如果表面有油渍，安装后很难清洗，应将原管放入槽内清洗。管道内壁的酸洗必须保证清洗后的腐蚀部分不会损坏未腐蚀的表面。
氧气管道的闸阀、配件等，应严格禁止燃油，并在安装前严格按照有关要求脱油。
金属管道连接
(1)管道材料。用于运输高纯气体金属管的材料主要有：
1)低碳不锈钢。低碳不锈钢管原则上采用大流量高纯度、高洁净气体。
2)铜管。在半导体企业中，一些生产工艺，如砷化邈，只能使用不锈钢板，以防止设备电阻，不允许使用铜管及其附件。
(2)连接方式：
焊接。高纯度、高清洁度的气体管道，原则上选择焊接，但不能直接焊接，应采用套管接头。
焊接A不锈钢管：选择氩弧焊，同时在管道中通入相同纯度的氩气，避免焊接位置氧化。
b钢管焊接:选用40%银焊条，氮气保护焊接，工艺气体纯度相同的N2通入管道。但需要注意的是，一旦N2中断或氮气纯度降低，铜的氧化物就会在焊接口周围产生，从而产生浸润表面的概率。因此，铜管焊接完成后，应使用浸有甲苯的纱布来回擦洗管道，以清除焊接处可能出现的氧化物。
2)法兰连接。法兰连接的密封性能不如焊接好，不适合高纯度、高清洁度的气体管道连接。法兰连接中使用的密封填料残渣有带入气体的危险，当内外螺纹紧固时，金属之间的摩擦会产生金属粉尘颗粒，污染气体。如有必要，应在法兰连接铜、铜和铜合金配件时，均匀地将一定量的焊条挂在管道螺纹上，以提高密封效果，最大限度地减少金属粉尘。
3)法兰连接。聚四氯乙烯应用于螺纹或法兰连接处的密封材料。为了保证密封效果，应在垫片上涂少量氟胶(白色和室温固化)。
(3)管道附件的使用：
管件材料的选择原则应与管件的选择原则一致。
2)不锈钢制成的管道附件可用于使用铜材料的管道系统；但是在不锈钢制成的管道系统中，铜材料制成的管道附件是不允许使用的。
